HX-IM1 全自动贴片机面向光模块芯片微组装,贴装精度可达 0.5μm。集成蓝膜自动取料、高精度 CCD 对位、Z 轴压力闭环、脉冲温控系统;支持芯片 0.25mm-40mm、基板 0.5mm-140mm,压力 0.01N-50N,支持产品在线追溯与数据导出。适用于光模块贴装、亚微米倒装键合、高精度微组装及先进封装,为半导体精密制造提供自动化解决方案。

HX-IM1 全自动贴片机
常规热压贴片模块|热压共晶工艺单元
配置常规不加热吸嘴、温控曲线加热模块以及高精密压力模块,支持脉冲下加热共晶焊接、吸嘴温度曲线压焊,适配金锡、焊片等物料。设备最高温度可达 450℃,支持多段温区可编程,贴片压力覆盖 0.05N-50N,温控与压力闭环联动,保证热压键合过程输出稳定,保障芯片装配的工艺一致性。
点胶环氧贴片模块|精密涂胶贴片单元
搭载手动点胶模块、常规不加热吸嘴与高精密压力模块,支持点胶、蘸胶两种作业方式,兼容 UV 胶、固化胶、银浆等多种胶体,可拓展 UV 紫外光照射固化工艺。模块和整机压力闭环系统深度联动,实现涂胶、贴片压力协同调控,兼顾微型器件与大尺寸芯片装配,满足光电器件封装生产需要。
超声波金球贴片键合模块|倒装超声键合单元
由超声波模块、常规不加热吸嘴、高精密压力模块组成,完成倒转芯片金球超声波贴合键合。依托整机 ±0.5μm 高精度 CCD 视觉定位保证对位效果,搭配可调超声功率与闭环压力控制,将视觉对位、压力控制、超声能量输出融为一体,完整实现超声金球贴片键合全流程,为倒装芯片生产提供可靠支撑。
解键合模式贴片模块|特种器件解键合单元
配置万向自平衡吸嘴、温控曲线加热模块、高精密压力模块。万向自平衡吸嘴可适配不同器件表面状态,配合可编程温度曲线与闭环压力输出,在加热加压条件下完成器件解键合贴片。芯片、基板适配尺寸支持选配调整,满足特殊器件装配与拆解工艺。

整机数据追溯与物料兼容能力
整机自带产品在线追溯以及数据文档导出功能,可完整留存生产工艺数据,方便产线质量管控与工艺复盘,适配半导体产线质量管理规范。
本文为设备硬件解析篇,后续我们还会继续分享视觉定位、软件系统与真实工艺案例,欢迎持续关注鸿芯微组。
