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HX-300
先进封装贴装键合系统

HX-300先进封装贴装键合系统可用于实验室工艺开发的 高性能贴片微组装键合工艺,其应用芯片到热沉基板,芯片 到晶圆贴片,晶圆到晶圆组装、大尺寸芯片贴合、大尺寸器 件键合、大压力器件组装、高端芯片的封装贴合、各种超高 精度微组装、特性材料的解键合以及巨量转移工艺等各类应 用场景,在各个领域发挥了重要了实验研发功能。

〇    闭环式视觉定位系统精度为±0.5um

〇    自适应调平整的大压力吸头贴装臂

〇    上下加热的独立温控曲线式热管理技术

〇    灵活简便的操作设备高精度以及高稳定性能

〇    清晰明朗的工艺过程实时监控观察

技术优势:

〇    利用高精密光学镜头组件进行对准

〇    可定制化红外透视功能

〇    超过4K的高清显示工业相机组合

〇    超过2000倍的放大比例极致观察

〇    超过800倍的侧面观察系统

〇    温度曲线及压力曲线的直观设定和观察

〇    各种参数的设定和点动操作便捷简单

先进封装贴装键合系统


工艺说明

    良好的热学性能材料作为加热基底

    贴片前的高度及温控压力曲线设定让键合贴片时间及温控得到有效的控制

    加热区域可形成惰性气体氛围,保护焊接区域的氧化过程

    堆叠式的贴片以及衬底基板的多颗贴片使温控得到不同曲线式的控制

先进封装贴装键合系统


设备详细技术参数:

 

项目

参数

备注

设备名称

先进封装贴装键合系统

手动多功能操纵模式

设备型号

hx-300

标准型号

贴装原理

垂直贴装悬臂

垂直贴装臂

贴装精度

最高≤0.5um

设备的贴装精度不包括样品误差

压力范围

≤5000N

通过曲线数字化设定

压力分辨率

≤5N

最小压力分辨率

温度范围

≤400℃

可选模块/温度曲线控制

加热台尺寸

≤300*300mm

可选模块/范围以内支持定制

放大倍率

≥2000倍

无极手动变倍

芯片尺寸mm

≤100*100mm

4寸以上尺寸需要定制

基板尺寸mm

≤300*300mm

可加热区域尺寸/支持定制载台

红外透视厚度

≤1.0mm

可选模块/可定制透视功能

设备交货期

4个月之内交付使用

包含安装调试及培训

设备保修期

1年

保修期外保留服务义务

售后服务

24小时反馈,一年两次回访

非必要可远程协助/上门协助

技术支持

提供终身技术咨询服务

包含工艺解答/技术建议