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HX-300
先进封装贴装键合系统

HX-300先进封装贴装键合系统可用于实验室工艺开发的 高性能贴片微组装键合工艺,其应用芯片到热沉基板,芯片 到晶圆贴片,晶圆到晶圆组装、大尺寸芯片贴合、大尺寸器 件键合、大压力器件组装、高端芯片的封装贴合、各种超高 精度微组装、特性材料的解键合以及巨量转移工艺等各类应 用场景,在各个领域发挥了重要了实验研发功能。

〇    闭环式视觉定位系统精度为±0.5um

〇    自适应调平整的大压力吸头贴装臂

〇    上下加热的独立温控曲线式热管理技术

〇    灵活简便的操作设备高精度以及高稳定性能

〇    清晰明朗的工艺过程实时监控观察

先进封装贴装键合系统

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